Oglekļa tetrafluorīds (CF4)

Tehniskie parametri

Oglekļa tetrafluorīds ir halogenēts ogļūdeņradis ar ķīmisko formulu CF4. To var uzskatīt par halogenētu ogļūdeņradi, halogenētu metānu, perfluorogļūdeņradi vai neorganisku savienojumu. Oglekļa tetrafluorīds ir bezkrāsaina un bez smaržas gāze, nešķīst ūdenī, šķīst benzolā un hloroformā. Stabils normālā temperatūrā un spiedienā, izvairieties no spēcīgiem oksidētājiem, uzliesmojošiem vai degošiem materiāliem. Nedegoša gāze, tvertnes iekšējais spiediens palielināsies, pakļaujot to lielam karstumam, un pastāv plaisāšanas un eksplozijas risks. Tas ir ķīmiski stabils un neuzliesmojošs. Istabas temperatūrā var darboties tikai šķidrais amonjaka-nātrija metāla reaģents. Oglekļa tetrafluorīds ir gāze, kas izraisa siltumnīcas efektu. Tas ir ļoti stabils, var ilgstoši uzturēties atmosfērā un ir ļoti spēcīga siltumnīcefekta gāze. Oglekļa tetrafluorīds tiek izmantots dažādu integrālo shēmu plazmas kodināšanas procesā. To izmanto arī kā lāzergāzi, un to izmanto zemas temperatūras dzesētājos, šķīdinātājos, smērvielās, izolācijas materiālos un dzesēšanas šķidrumos infrasarkanajiem detektoriem. Tā ir visvairāk izmantotā plazmas kodināšanas gāze mikroelektronikas nozarē. Tas ir augstas tīrības pakāpes tetrafluormetāna gāzes un augstas tīrības pakāpes tetrafluormetāna gāzes un augstas tīrības pakāpes skābekļa maisījums. To var plaši izmantot silīcijā, silīcija dioksīdā, silīcija nitrīdā un fosfosilikāta stiklā. Plānas plēves materiālu, piemēram, volframa un volframa, kodināšana tiek plaši izmantota arī elektronisko ierīču virsmu tīrīšanā, saules bateriju ražošanā, lāzertehnoloģijā, zemas temperatūras dzesēšanā, noplūdes pārbaudē un mazgāšanas līdzekļos iespiedshēmu ražošanā. Izmanto kā zemas temperatūras aukstumaģenta un plazmas sausās kodināšanas tehnoloģiju integrālajām shēmām. Uzglabāšanas pasākumi: Uzglabāt vēsā, vēdināmā nedegošas gāzes noliktavā. Sargāt no uguns un siltuma avotiem. Uzglabāšanas temperatūra nedrīkst pārsniegt 30°C. Tas jāuzglabā atsevišķi no viegli (degošiem) uzliesmojošiem materiāliem un oksidētājiem, kā arī jāizvairās no jauktas uzglabāšanas. Uzglabāšanas vietai jābūt aprīkotai ar noplūdes avārijas apstrādes iekārtām.

Pielietojums:

① Aukstumaģents:

Tetrafluormetānu dažreiz izmanto kā zemas temperatūras aukstumaģentu.

② kodināšana:

To izmanto elektronikas mikroražošanā atsevišķi vai kopā ar skābekli kā silīcija, silīcija dioksīda un silīcija nitrīda plazmas kodinātāju.

Parastā pakete:

Priekšrocība:

①Augstas tīrības pakāpe, jaunākā iekārta;

②ISO sertifikāta ražotājs;

③ Ātra piegāde;

④On-line analīzes sistēma kvalitātes kontrolei katrā solī;

⑤ Augstas prasības un rūpīgs process, lai apstrādātu cilindru pirms iepildīšanas;