Oglekļa tetrafluorīds (CF4)

Tehniskie parametri

Oglekļa tetrafluorīds ir halogenēts ogļūdeņradis ar ķīmisko formulu CF4. To var uzskatīt par halogenētu ogļūdeņradi, halogenētu metānu, perfluorogļūdeņradi vai neorganisku savienojumu. Oglekļa tetrafluorīds ir bezkrāsaina un bez smaržas gāze, nešķīst ūdenī, šķīst benzolā un hloroformā. Stabils normālā temperatūrā un spiedienā, jāizvairās no spēcīgiem oksidētājiem, viegli uzliesmojošiem vai degošiem materiāliem. Nedegoša gāze, trauka iekšējais spiediens palielinās, pakļaujot to augstam karstumam, un pastāv plaisāšanas un sprādziena risks. Tā ir ķīmiski stabila un nedegoša. Istabas temperatūrā var darboties tikai šķidrs amonjaka-nātrija metāla reaģents. Oglekļa tetrafluorīds ir gāze, kas izraisa siltumnīcas efektu. Tā ir ļoti stabila, var ilgstoši uzturēties atmosfērā un ir ļoti spēcīga siltumnīcas gāze. Oglekļa tetrafluorīdu izmanto dažādu integrētu shēmu plazmas kodināšanas procesā. To izmanto arī kā lāzera gāzi, un to izmanto zemas temperatūras dzesētājvielās, šķīdinātājos, smērvielās, izolācijas materiālos un infrasarkano detektoru dzesēšanas šķidrumos. Tā ir visbiežāk izmantotā plazmas kodināšanas gāze mikroelektronikas nozarē. Tas ir tetrafluormetāna augstas tīrības pakāpes gāzes un tetrafluormetāna augstas tīrības pakāpes gāzes un augstas tīrības pakāpes skābekļa maisījums. To var plaši izmantot silīcijā, silīcija dioksīdā, silīcija nitrīdā un fosfosilikāta stiklā. Plānu plēves materiālu, piemēram, volframa un volframa, kodināšana tiek plaši izmantota arī elektronisko ierīču virsmu tīrīšanā, saules bateriju ražošanā, lāzertehnoloģijās, zemas temperatūras saldēšanā, noplūžu pārbaudē un mazgāšanas līdzekļos iespiedshēmu ražošanā. Izmanto kā zemas temperatūras aukstumaģentu un plazmas sausās kodināšanas tehnoloģiju integrētajām shēmām. Uzglabāšanas piesardzības pasākumi: Uzglabāt vēsā, vēdināmā nedegošas gāzes noliktavā. Sargāt no uguns un siltuma avotiem. Uzglabāšanas temperatūra nedrīkst pārsniegt 30°C. Tas jāuzglabā atsevišķi no viegli (degošām) degošām vielām un oksidētājiem, un jāizvairās no jauktas uzglabāšanas. Uzglabāšanas vietai jābūt aprīkotai ar noplūdes avārijas apstrādes aprīkojumu.

Pielietojums:

① Dzesēšanas līdzeklis:

Tetrafluormetānu dažreiz izmanto kā zemas temperatūras aukstumaģentu.

② Kodināšana:

To izmanto elektronikas mikrofabrikācijā atsevišķi vai kombinācijā ar skābekli kā plazmas kodinātāju silīcijam, silīcija dioksīdam un silīcija nitrīdam.

Parastā pakete:

Priekšrocība:

①Augsta tīrība, jaunākā iekārta;

②ISO sertifikāta ražotājs;

③Ātra piegāde;

④Tiešsaistes analīzes sistēma kvalitātes kontrolei katrā solī;

5 Augstas prasības un rūpīgs process cilindra apstrādei pirms uzpildīšanas;