Bora trihlorīds (BCL3)ir neorganisks savienojums, ko parasti izmanto sausā kodināšanas un ķīmisko tvaiku nogulsnēšanās (CVD) procesos pusvadītāju ražošanā. Tā ir bezkrāsaina gāze ar spēcīgu asu smaku istabas temperatūrā un ir jutīga pret mitru gaisu, jo tā hidrolizējas, lai iegūtu sālsskābi un borskābi.

Bora trihlorīda pielietojums

Pusvadītāju nozarē,Bora trihlorīdsgalvenokārt tiek izmantots alumīnija sausai kodināšanai un kā palīgviela, lai veidotu p-tipa reģionus uz silīcija vafelēm. To var izmantot arī tādiem materiāliem kā GaAs, Si, ALN un kā bora avotu noteiktos īpašos lietojumos. Turklāt bora trihlorīds tiek plaši izmantots metālu apstrādē, stikla rūpniecībā, ķīmiskajā analīzē un laboratorijas pētījumos.

Bora trihlorīda drošība

Bora trihlorīdsir kodīgs un toksisks, un tas var izraisīt nopietnu kaitējumu acīm un ādai. Tas hidrolizējas mitrā gaisā, lai izdalītu toksisku ūdeņraža hlorīda gāzi. Tāpēc, rīkojoties, jāveic atbilstoši drošības pasākumiBora trihlorīds, ieskaitot aizsargājoša apģērba, aizsargbrilles un elpceļu aizsardzības aprīkojuma nēsāšanu, kā arī darbojas labi vēdināta vidē.