Bora trihlorīds (BCl3)ir neorganisks savienojums, ko parasti izmanto sausās kodināšanas un ķīmiskās tvaiku uzklāšanas (CVD) procesos pusvadītāju ražošanā. Tā ir bezkrāsaina gāze ar spēcīgu asu smaku istabas temperatūrā un ir jutīga pret mitru gaisu, jo tā hidrolizējas, veidojot sālsskābi un borskābi.

Bora trihlorīda pielietojums

Pusvadītāju nozarēBora trihlorīdsgalvenokārt izmanto alumīnija sausai kodināšanai un kā piedevu P veida apgabalu veidošanai uz silīcija plāksnēm. To var izmantot arī tādu materiālu kā GaAs, Si, AlN kodināšanai un kā bora avotu noteiktos specifiskos pielietojumos. Turklāt bora trihlorīdu plaši izmanto metālapstrādē, stikla rūpniecībā, ķīmiskajā analīzē un laboratorijas pētījumos.

Bora trihlorīda drošība

Bora trihlorīdsir kodīgs un toksisks, un var izraisīt nopietnus acu un ādas bojājumus. Mitrā gaisā tas hidrolizējas, izdalot toksisku ūdeņraža hlorīda gāzi. Tāpēc, rīkojoties ar to, jāveic atbilstoši drošības pasākumi.Bora trihlorīds, tostarp valkājot aizsargapģērbu, aizsargbrilles un elpceļu aizsarglīdzekļus, un strādājot labi vēdināmā vidē.