Lāzera gāze

Lāzera gāzi galvenokārt izmanto lāzera atkvēlināšanai un litogrāfijas gāzei elektronikas rūpniecībā. Pateicoties mobilo tālruņu ekrānu inovācijām un pielietojuma jomu paplašināšanai, zemas temperatūras polikristāliskā silīcija tirgus mērogs tiks vēl vairāk paplašināts, un lāzera atkvēlināšanas process ir ievērojami uzlabojis TFT veiktspēju. Starp neona, fluora un argona gāzēm, ko izmanto ArF eksimērlāzeros pusvadītāju ražošanā, neons veido vairāk nekā 96% no lāzera gāzes maisījuma. Līdz ar pusvadītāju tehnoloģijas pilnveidošanu ir palielinājusies eksimērlāzeru izmantošana, un dubultās ekspozīcijas tehnoloģijas ieviešana ir novedusi pie strauja ArF eksimērlāzeru patērētās neona gāzes pieprasījuma pieauguma. Pateicoties elektronisko speciālo gāzu lokalizācijas veicināšanai, vietējiem ražotājiem nākotnē būs labāka tirgus izaugsmes telpa.

Litogrāfijas iekārta ir pusvadītāju ražošanas pamatiekārta. Litogrāfija nosaka tranzistoru izmērus. Litogrāfijas nozares ķēdes koordinēta attīstība ir litogrāfijas iekārtu izrāviena atslēga. Saskaņotiem pusvadītāju materiāliem, piemēram, fotorezistam, fotolitogrāfijas gāzei, fotomaskai un pārklāšanas un attīstīšanas iekārtām, ir augsts tehnoloģiskais saturs. Litogrāfijas gāze ir gāze, ko litogrāfijas iekārta ģenerē dziļā ultravioletā lāzera starojumam. Dažādas litogrāfijas gāzes var radīt dažāda viļņu garuma gaismas avotus, un to viļņa garums tieši ietekmē litogrāfijas iekārtas izšķirtspēju, kas ir viens no litogrāfijas iekārtas kodoliem. 2020. gadā kopējais litogrāfijas iekārtu pārdošanas apjoms pasaulē būs 413 vienības, no kurām ASML pārdošanas apjoms bija 258 vienības - 62%, Canon pārdošanas apjoms - 122 vienības - 30% un Nikon pārdošanas apjoms - 33 vienības - 8%.