Ūdeņraža hlorīdsir bezkrāsaina gāze ar asu smaku. Tās ūdens šķīdumu sauc par sālsskābi, kas pazīstama arī kā sālsskābe. Ūdeņraža hlorīds ļoti šķīst ūdenī. 0 ° C temperatūrā 1 ūdens tilpums var izšķīdināt apmēram 500 tilpumus ūdeņraža hlorīda.

Tam ir šādas īpašības un īpašības:

1. Augsta tīrība

Elektroniskās pakāpes tīrībaūdeņraža hlorīdsir ļoti augsts, parasti PPM vai zemākā līmenī, lai nodrošinātu, ka pusvadītāju ražošanas procesā netiek ieviesti piemaisījumi.

2. Inertums

Tā ir ķīmiski inerta gāze, kas nereaģē ar daudzām citām vielām, kas ir ļoti svarīgi, lai novērstu pusvadītāju materiālu un aprīkojuma piesārņojumu.

3. Augsta stabilitāte

Elektroniskā pakāpeūdeņraža hlorīdsParasti tai ir stabila ķīmija, lai nodrošinātu uzticamu pusvadītāju apstrādi.

Pusvadītāju apstrādē galvenie elektroniskās pakāpes ūdeņraža hlorīda pielietojumi ir:

1. Virsmas tīrīšana un sagatavošana

Kā efektīvs virsmas tīrīšanas līdzeklis, elektroniska pakāpeūdeņraža hlorīdstiek izmantots, lai noņemtu oksīdus un piemaisījumus no pamatnes virsmas, lai nodrošinātu epitaksiālā slāņa vai plēves kvalitāti un tīrību.

2.Pitaksiālā augšanas palīdzība

Izmanto kā virsmas apstrādes līdzekli epitaksiālajā procesā, tas palīdz uzlabot epitaksiālā slāņa kvalitāti, uzlabot režģa saskaņošanu un samazināt režģa defektu veidošanos.

3. Substrāta pirmapstrāde

Pirms pusvadītāju ierīču sagatavošanas elektroniskā pakāpeūdeņraža hlorīdsvar izmantot, lai apstrādātu substrāta virsmu, lai izveidotu stabilu pamatni, lai uzlabotu saķeri starp epitaksiālo slāni un substrātu.

4. nogulsnēšanās palīgviela

Ķīmisko tvaiku nogulsnēšanās (CVD) vai fizikālā tvaika nogulsnēšanās procesā (PVD) elektroniskā pakāpes ūdeņraža hlorīdu var izmantot kā gāzes fāzes pārneses vidi, lai piedalītos pusvadītāju materiālu nogulsnēšanās reakcijā.

5. Gāzes fāžu pārnešanas līdzeklis

Kā gāzes fāzes pārneses līdzeklis reakcijas kamerā tiek ievesti citi gāzveida prekursori, lai palīdzētu pielāgot materiāla nogulsnēšanās ātrumu un vienveidību.

Šīs īpašības padara elektronisku pakāpiūdeņraža hlorīdsSvarīgs apstrādes līdzeklis pusvadītāju tehnoloģijā, kam ir galvenā ietekme uz galīgās ierīces veiktspēju un uzticamību.

Papildus tam, ka tā tiek izmantota pusvadītāju apstrādē, elektroniskās pakāpes ūdeņraža hlorīds var atrast dažādus lietojumus citās jomās, ieskaitot: augstas tīrības materiālu, kurināmā elementu, pusvadītāju materiāla augšanas, tvaika fāzes litogrāfijas, materiālu analīzes, ķīmisko pētījumu sagatavošanu.

Parasti elektroniskā pakāpeūdeņraža hlorīdsir daudzpusīga, augsta tīrības gāze, kurai ir plašs lietojumu klāsts ārpus pusvadītāju ražošanas.