Ūdeņraža hlorīdsir bezkrāsaina gāze ar asu smaržu. Tās ūdens šķīdumu sauc par sālsskābi, kas pazīstama arī kā sālsskābe. Ūdeņraža hlorīds ļoti labi šķīst ūdenī. 0°C temperatūrā 1 tilpums ūdens var izšķīdināt aptuveni 500 tilpumus ūdeņraža hlorīda.

Tam ir šādas īpašības un raksturlielumi:

1. Augsta tīrība

Elektroniskās kvalitātes tīrībaūdeņraža hlorīdsir ļoti augsts, parasti ppm vai zemākā līmenī, lai nodrošinātu, ka pusvadītāju ražošanas procesā netiek ievadīti piemaisījumi.

2. Inertums

Tā ir ķīmiski inerta gāze, kas nereaģē ar daudzām citām vielām, kas ir ļoti svarīgi, lai novērstu pusvadītāju materiālu un iekārtu piesārņošanu.

3. Augsta stabilitāte

Elektroniskā pakāpeūdeņraža hlorīdsparasti ir stabila ķīmiskā viela, lai nodrošinātu uzticamu pusvadītāju apstrādi.

Pusvadītāju apstrādē galvenie elektroniskās kvalitātes ūdeņraža hlorīda pielietojumi ir šādi:

1. Virsmas tīrīšana un sagatavošana

Kā efektīvs virsmu tīrīšanas līdzeklis, elektronikas klaseūdeņraža hlorīdstiek izmantots, lai no substrāta virsmas noņemtu oksīdus un piemaisījumus, lai nodrošinātu epitaksiālā slāņa vai plēves kvalitāti un tīrību.

2. Epitaksiāla augšanas līdzeklis

Izmantojot to kā virsmas apstrādes līdzekli epitaksiālajā procesā, tas palīdz uzlabot epitaksiālā slāņa kvalitāti, uzlabot režģa atbilstību un samazināt režģa defektu veidošanos.

3. Pamatnes pirmapstrāde

Pirms pusvadītāju ierīču sagatavošanas, elektroniskās kvalitātesūdeņraža hlorīdsvar izmantot substrāta virsmas apstrādei, lai izveidotu stabilu pamatni, kas uzlabo saķeri starp epitaksiālo slāni un substrātu.

4. Nogulsnēšanas palīgviela

Ķīmiskās tvaiku nogulsnēšanas (CVD) vai fizikālās tvaiku nogulsnēšanas (PVD) procesā elektroniskās kvalitātes ūdeņraža hlorīdu var izmantot kā gāzes fāzes pārneses vidi, lai piedalītos pusvadītāju materiālu nogulsnēšanās reakcijā.

5. Gāzes fāzes pārneses aģents

Kā gāzes fāzes pārneses aģents reakcijas kamerā tiek ievadīti citi gāzveida prekursori, lai palīdzētu regulēt materiāla nogulsnēšanās ātrumu un vienmērīgumu.

Šīs īpašības padara elektronisko kvalitātiūdeņraža hlorīdssvarīgs apstrādes līdzeklis pusvadītāju tehnoloģijā, kam ir būtiska ietekme uz gatavās ierīces veiktspēju un uzticamību.

Papildus izmantošanai pusvadītāju apstrādē, elektroniskās kvalitātes ūdeņraža hlorīdu var izmantot arī citās jomās, tostarp: augstas tīrības pakāpes materiālu sagatavošanā, degvielas elementos, pusvadītāju materiālu audzēšanā, tvaika fāzes litogrāfijā, materiālu analīzē, ķīmiskajos pētījumos.

Kopumā elektroniskā pakāpeūdeņraža hlorīdsir daudzpusīga, augstas tīrības pakāpes gāze, kurai ir plašs pielietojumu klāsts ārpus pusvadītāju ražošanas.