2018. gadā globālais elektroniskās gāzes tirgus integrālajām shēmām sasniedza 4,512 miljardus ASV dolāru, kas ir par 16% vairāk nekā iepriekšējā gadā. Pusvadītāju elektroniskās speciālās gāzes nozares augstie izaugsmes tempi un milzīgais tirgus apjoms ir paātrinājuši vietējās elektroniskās speciālās gāzes aizstāšanas plānu!
Kas ir elektronu gāze?
Elektroniskā gāze attiecas uz pamata izejmateriālu, ko izmanto pusvadītāju, plakano paneļu displeju, gaismas diožu, saules bateriju un citu elektronisko izstrādājumu ražošanā, un to plaši izmanto tīrīšanā, kodināšanā, plēvju veidošanā, dopingā un citos procesos. Galvenās elektroniskās gāzes pielietojuma jomas ir elektronikas rūpniecība, saules baterijas, mobilie sakari, auto navigācija un automašīnu audio un video sistēmas, aviācija, militārā rūpniecība un daudzas citas jomas.
Elektronisko speciālo gāzi var iedalīt septiņās kategorijās pēc tās ķīmiskā sastāva: silīcijs, arsēns, fosfors, bors, metāla hidrīds, halogenīds un metāla alkoksīds. Saskaņā ar dažādām pielietošanas metodēm integrālajās shēmās to var iedalīt dopinga gāzē, epitaksijas gāzē, jonu implantācijas gāzē, gaismas diožu gāzē, kodināšanas gāzē, ķīmiskās tvaiku pārklāšanas gāzē un līdzsvara gāzē. Pusvadītāju rūpniecībā tiek izmantotas vairāk nekā 110 vienības speciālās gāzes, no kurām vairāk nekā 30 tiek izmantotas parasti.
Parasti pusvadītāju ražošanas nozare gāzes sadala divos veidos: parastās gāzes un īpašās gāzes. Tostarp parasti lietotā gāze attiecas uz centralizētu piegādi un izmanto daudz gāzes, piemēram, N2, H2, O2, Ar, He uc Īpašā gāze attiecas uz dažām ķīmiskām gāzēm, ko izmanto pusvadītāju ražošanas procesā, piemēram, pagarināšana, jonu iesmidzināšana, sajaukšana, mazgāšana un maskas veidošana, ko mēs tagad saucam par elektronisku speciālo gāzi, piemēram, augstas tīrības pakāpes SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 utt.
Visā pusvadītāju nozares ražošanas procesā, sākot no mikroshēmas augšanas līdz gala ierīces iepakojumam, gandrīz katra saite nav atdalāma no elektroniskās speciālās gāzes un izmantotās gāzes daudzveidības un augstām kvalitātes prasībām, tāpēc elektroniskajai gāzei ir pusvadītāju materiāli. "Ēdiens".
Pēdējos gados Ķīnas lielāko elektronisko komponentu, piemēram, pusvadītāju un displeju paneļu, ražošanas jauda ir palielinājusies, un ir liels pieprasījums pēc elektronisko ķīmisko materiālu importa aizstāšanas. Elektronisko gāzu pozīcija pusvadītāju rūpniecībā ir kļuvusi arvien nozīmīgāka. Vietējā elektroniskās gāzes nozare sāks strauju izaugsmi.
Elektroniskajai speciālajai gāzei ir ļoti augstas tīrības prasības, jo, ja tīrība neatbilst prasībām, elektroniskajā speciālajā gāzē esošās piemaisījumu grupas, piemēram, ūdens tvaiki un skābeklis, viegli veidos oksīda plēvi uz pusvadītāja virsmas, kas ietekmē elektronisko ierīču kalpošanas laiks, un elektroniskā speciālā gāze satur Piemaisījumu daļiņas var izraisīt pusvadītāju īssavienojumus un ķēdes bojājumus. Var teikt, ka tīrības uzlabošanai ir būtiska nozīme elektronisko ierīču ražošanas ražībā un veiktspējā.
Nepārtraukti attīstoties pusvadītāju rūpniecībai, mikroshēmu ražošanas process turpina uzlaboties, un tagad tas ir sasniedzis 5nm, kas tuvojas Mūra likuma robežai, kas ir līdzvērtīga vienai divdesmitajai daļai no cilvēka mata diametra ( apmēram 0,1 mm). Līdz ar to tas arī izvirza augstākas prasības elektroniskās speciālās gāzes tīrībai, ko ražo pusvadītāji.
Publicēšanas laiks: 15. decembris 2021
