2018. gadā globālais integrēto shēmu elektroniskās gāzes tirgus sasniedza 4,512 miljardus ASV dolāru, kas ir par 16% vairāk nekā iepriekšējā gadā. Pusvadītāju elektroniskās speciālās gāzes nozares straujais izaugsmes temps un milzīgais tirgus apjoms ir paātrinājis elektroniskās speciālās gāzes aizstāšanas plānu vietējā tirgū!
Kas ir elektronu gāze?
Elektroniskā gāze ir pamata izejmateriāls, ko izmanto pusvadītāju, plakano displeju, gaismas diožu, saules bateriju un citu elektronisko izstrādājumu ražošanā, un to plaši izmanto tīrīšanai, kodināšanai, plēvju veidošanai, leģēšanai un citos procesos. Elektroniskās gāzes galvenās pielietojuma jomas ir elektronikas rūpniecība, saules baterijas, mobilie sakari, automašīnu navigācija un automašīnu audio un video sistēmas, kosmosa rūpniecība, militārā rūpniecība un daudzas citas jomas.
Elektroniskās speciālās gāzes var iedalīt septiņās kategorijās pēc to ķīmiskā sastāva: silīcijs, arsēns, fosfors, bors, metālu hidrīds, halogenīds un metālu alkoksīds. Atkarībā no dažādām pielietošanas metodēm integrētajās shēmās tās var iedalīt leģēšanas gāzē, epitaksijas gāzē, jonu implantācijas gāzē, gaismas diožu gāzē, kodināšanas gāzē, ķīmiskās tvaiku nogulsnēšanas gāzē un līdzsvara gāzē. Pusvadītāju rūpniecībā tiek izmantotas vairāk nekā 110 speciālo gāzu vienības, no kurām vairāk nekā 30 tiek plaši izmantotas.
Parasti pusvadītāju ražošanas nozarē gāzes tiek iedalītas divos veidos: parastajās gāzēs un īpašajās gāzēs. Starp tām parasti izmantotā gāze attiecas uz centralizētu piegādi un lielu gāzes daudzumu, piemēram, N2, H2, O2, Arn, He utt. Īpašā gāze attiecas uz dažām ķīmiskām gāzēm, ko izmanto pusvadītāju ražošanas procesos, piemēram, pagarināšanā, jonu inžekcijā, sajaukšanā, mazgāšanā un maskas veidošanā, ko mēs tagad saucam par elektronisko īpašo gāzi, piemēram, augstas tīrības pakāpes SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 utt.
Visā pusvadītāju rūpniecības ražošanas procesā, sākot no mikroshēmas augšanas līdz ierīces galīgajai iepakošanai, gandrīz katra saite ir neatdalāma no elektroniskās speciālās gāzes, kā arī izmantotās gāzes daudzveidības un augstajām kvalitātes prasībām, tāpēc elektroniskajai gāzei ir pusvadītāju materiāli. "Pārtika".
Pēdējos gados Ķīnas galveno elektronisko komponentu, piemēram, pusvadītāju un displeju paneļu, ražošanas jauda ir palielinājusies, un ir liels pieprasījums pēc elektronisko ķīmisko materiālu importa aizstāšanas. Elektronisko gāzu pozīcija pusvadītāju rūpniecībā ir kļuvusi arvien nozīmīgāka. Vietējā elektronisko gāzu rūpniecība piedzīvos strauju izaugsmi.
Elektroniskajām īpašajām gāzēm ir ļoti augstas tīrības prasības, jo, ja tīrība neatbilst prasībām, elektroniskās īpašās gāzes piemaisījumu grupas, piemēram, ūdens tvaiki un skābeklis, viegli veidos oksīda plēvi uz pusvadītāja virsmas, kas ietekmēs elektronisko ierīču kalpošanas laiku, un elektroniskās īpašās gāzes saturētās piemaisījumu daļiņas var izraisīt pusvadītāju īsslēgumus un ķēdes bojājumus. Var teikt, ka tīrības uzlabošanai ir būtiska loma elektronisko ierīču ražošanas ražībā un veiktspējā.
Līdz ar pusvadītāju nozares nepārtrauktu attīstību mikroshēmu ražošanas process turpina uzlaboties, un tagad tas ir sasniedzis 5 nm, kas tuvojas Mūra likuma robežai, kas ir līdzvērtīga vienai divdesmitajai daļai no cilvēka mata diametra (apmēram 0,1 mm). Tādēļ tas izvirza arī augstākas prasības pusvadītāju ražotās elektroniskās speciālās gāzes tīrībai.
Publicēšanas laiks: 2021. gada 15. decembris
