Lielākais elektroniskās speciālās gāzes daudzums – slāpekļa trifluorīds NF3

Mūsu valsts pusvadītāju rūpniecība un paneļu rūpniecība uztur augstu labklājības līmeni. Slāpekļa trifluorīds kā neaizstājama un lielākā apjoma speciālā elektroniskā gāze paneļu un pusvadītāju ražošanā un apstrādē ir ieguvis plašu tirgus telpu.

Bieži izmantotās fluoru saturošās speciālās elektroniskās gāzes ietversēra heksafluorīds (SF6), volframa heksafluorīds (WF6),oglekļa tetrafluorīds (CF4), trifluormetāns (CHF3), slāpekļa trifluorīds (NF3), heksafluoretāns (C2F6) un oktafluorpropāns (C3F8). Slāpekļa trifluorīds (NF3) galvenokārt tiek izmantots kā fluora avots augstas enerģijas ķīmiskajos lāzeros, kas satur ūdeņraža fluorīdu-fluorīda gāzi. Efektīvo daļu (aptuveni 25%) no reakcijas enerģijas starp H2-O2 un F2 var atbrīvot lāzera starojums, tāpēc HF-OF lāzeri ir visdaudzsološākie lāzeri starp ķīmiskajiem lāzeriem.

Slāpekļa trifluorīds ir lieliska plazmas kodināšanas gāze mikroelektronikas nozarē. Silīcija un silīcija nitrīda kodināšanā slāpekļa trifluorīdam ir augstāks kodināšanas ātrums un selektivitāte nekā tetrafluorogleklim un tetrafluoroglekļa un skābekļa maisījumam, un tas nepiesārņo virsmu. Īpaši integrēto shēmu materiālu kodināšanā, kuru biezums ir mazāks par 1,5 μm, slāpekļa trifluorīdam ir ļoti labs kodināšanas ātrums un selektivitāte, tas neatstājot atlikumus uz kodinātā objekta virsmas, un tas ir arī ļoti labs tīrīšanas līdzeklis. Attīstoties nanotehnoloģijām un elektronikas rūpniecībai, pieprasījums pēc tā pieaugs ar katru dienu.

Slāpekļa trifluorīds (NF3) kā fluoru saturoša speciālā gāze ir tirgū populārākais elektronisko iekārtu speciālās gāzes produkts. Tas ir ķīmiski inerts istabas temperatūrā, aktīvāks par skābekli, stabilāks par fluoru un viegli apstrādājams augstā temperatūrā.

Slāpekļa trifluorīdu galvenokārt izmanto kā plazmas kodināšanas gāzi un reakcijas kameras tīrīšanas līdzekli, kas ir piemērots ražošanas laukiem, piemēram, pusvadītāju mikroshēmām, plakanā ekrāna displejiem, optiskajām šķiedrām, fotoelektriskajām šūnām utt.

Salīdzinot ar citām fluoru saturošām elektroniskajām gāzēm, slāpekļa trifluorīdam ir ātras reakcijas un augstas efektivitātes priekšrocības, īpaši silīciju saturošu materiālu, piemēram, silīcija nitrīda, kodināšanā, tam ir augsts kodināšanas ātrums un selektivitāte, neatstājot atlikumus uz kodinātā objekta virsmas, un tas ir arī ļoti labs tīrīšanas līdzeklis, un tas nepiesārņo virsmu un var apmierināt apstrādes procesa vajadzības.