Parastās fluoru saturošas īpašas elektroniskās gāzes ietversēra heksafluorīds (SF6), volframa heksafluorīds (WF6),oglekļa tetrafluorīds (CF4), trifluormetāns (CHF3), slāpekļa trifluorīds (NF3), heksafluoretāns (C2F6) un oktafluorpropāns (C3F8).
Attīstoties nanotehnoloģijām un plaša mēroga elektronikas nozares attīstībai, pieprasījums pēc tās pieaugs ar katru dienu. Slāpekļa trifluorīdam kā neaizstājamai un visvairāk izmantotai speciālai elektroniskai gāzei paneļu un pusvadītāju ražošanā un apstrādē ir plaša tirgus telpa.
Kā fluoru saturošas īpašas gāzes veids,slāpekļa trifluorīds (NF3)ir elektroniskais speciālās gāzes produkts ar lielāko tirgus jaudu. Tas ir ķīmiski inerts istabas temperatūrā, aktīvāks par skābekli augstā temperatūrā, stabilāks par fluoru un viegli apstrādājams. Slāpekļa trifluorīdu galvenokārt izmanto kā plazmas kodināšanas gāzi un reakcijas kameras tīrīšanas līdzekli, un tas ir piemērots pusvadītāju mikroshēmu, plakano paneļu displeju, optisko šķiedru, fotoelektrisko elementu uc ražošanas jomām.
Salīdzinot ar citām fluoru saturošām elektroniskām gāzēm,slāpekļa trifluorīdsir ātras reakcijas un augstas efektivitātes priekšrocības. Īpaši silīciju saturošu materiālu, piemēram, silīcija nitrīda, kodināšanā tam ir augsts kodināšanas ātrums un selektivitāte, neatstājot atlikumus uz kodinātā objekta virsmas. Tas ir arī ļoti labs tīrīšanas līdzeklis, un tam nav virsmas piesārņojuma, kas var apmierināt apstrādes procesa vajadzības.
Izlikšanas laiks: 14. septembris 2024
