Parastās fluoru saturošās īpašās elektroniskās gāzes ietversēra heksafluorīds (SF6), volframa heksafluorīds (WF6),oglekļa tetrafluorīds (CF4), trifluorometāns (CHF3), slāpekļa trifluorīds (NF3), heksafluoretāns (C2F6) un oktafluoropropāns (C3F8).
Izstrādājot nanotehnoloģiju un liela mēroga elektronikas nozares attīstību, tās pieprasījums palielināsies katru dienu. Slāpekļa trifluorīdam kā neaizstājamai un lielākā patērētā īpašajai elektroniskajai gāzei paneļu un pusvadītāju ražošanā un pārstrādē ir plaša tirgus telpa.
Kā fluoru saturoša īpaša gāzes tips,Slāpekļa trifluorīds (NF3)ir elektroniskais īpašais gāzes produkts ar lielāko tirgus jaudu. Tas ir ķīmiski inerts istabas temperatūrā, aktīvāks nekā skābeklis augstā temperatūrā, stabilāks nekā fluors un viegli apstrādājams. Slāpekļa trifluorīdu galvenokārt izmanto kā plazmas kodināšanas gāzi un reakcijas kameras tīrīšanas līdzekli, un tas ir piemērots pusvadītāju mikroshēmu, plakano paneļu displeju, optisko šķiedru, fotoelektrisko šūnu utt. Ražošanas laukiem utt.
Salīdzinot ar citām fluoru saturošām elektroniskām gāzēm,slāpekļa trifluorīdsir ātras reakcijas un augstas efektivitātes priekšrocības. Īpaši silīcija saturošu materiālu, piemēram, silīcija nitrīda, kodināšanā tam ir augsts kodināšanas ātrums un selektivitāte, neatliekot atlikumus uz iegravēta objekta virsmas. Tas ir arī ļoti labs tīrīšanas līdzeklis, un tam nav piesārņojuma virsmai, kas var apmierināt apstrādes procesa vajadzības.
Pasta laiks: 14.-1444. Seps
