Volframa heksafluorīda (WF6) lietošana

Volframa heksafluorīds (WF6) tiek nogulsnēts uz vafeles virsmas caur CVD procesu, piepildot metāla starpsavienojuma tranšejas un veidojot metāla starpsavienojumu starp slāņiem.

Vispirms parunāsim par plazmu. Plazma ir vielas forma, kas galvenokārt sastāv no brīviem elektroniem un uzlādētiem joniem. Tas plaši pastāv Visumā un bieži tiek uzskatīts par ceturto matērijas stāvokli. To sauc par plazmas stāvokli, ko sauc arī par “plazmu”. Plazmā ir augsta elektriskā vadītspēja, un tai ir spēcīga savienojuma iedarbība ar elektromagnētisko lauku. Tā ir daļēji jonizēta gāze, kas sastāv no elektroniem, joniem, brīvajiem radikāļiem, neitrālām daļiņām un fotoniem. Pati plazma ir elektriski neitrāls maisījums, kas satur fiziski un ķīmiski aktīvas daļiņas.

Tiešs skaidrojums ir tāds, ka ar lielu enerģijas darbību molekula pārvarēs van der Waals spēku, ķīmisko saites spēku un Kulona spēku un parādīs neitrālas elektrības formu kopumā. Tajā pašā laikā ārpuses piešķirtā lielā enerģija pārvar iepriekš minētos trīs spēkus. Funkcija, elektroni un joni uzrāda brīvu stāvokli, kuru var mākslīgi izmantot magnētiskā lauka modulācijā, piemēram, pusvadītāju kodināšanas procesā, CVD procesā, PVD un IMP procesā.

Kas ir augstā enerģija? Teorētiski var izmantot gan augstu temperatūru, gan augstas frekvences RF. Vispārīgi runājot, augstu temperatūru ir gandrīz neiespējami sasniegt. Šī temperatūras prasība ir pārāk augsta, un tā var būt tuvu saules temperatūrai. Procesa laikā to būtībā nav iespējams sasniegt. Tāpēc nozare parasti izmanto augstas frekvences RF, lai to sasniegtu. Plazmas RF var sasniegt pat 13MHz+.

Volframa heksafluorīds ir plazma, izmantojot elektrisko lauku, un pēc tam magnētiskais lauks ir atkarīgs no tvaikiem. W atomi ir līdzīgi ziemas zosu spalvām un gravitācijas iedarbībā nokrīt uz zemes. Lēnām W atomus nogulsnējas caurumos un beidzot pilnībā piepilda caurumus, veidojot metāla starpsavienojumus. Papildus W atomu nogulsnēšanai caurumos, vai tie tiks nogulsnēti arī uz vafeles virsmas? Jā, noteikti. Vispārīgi runājot, jūs varat izmantot W-CMP procesu, ko mēs saucam par mehāniskās slīpēšanas procesu, lai noņemtu. Tas ir līdzīgs slotas izmantošanai, lai slaucītu grīdu pēc smaga sniega. Sniegs uz zemes ir aizslaucīts, bet sniegs caurumā uz zemes paliks. Uz leju, aptuveni tas pats.