Volframa heksafluorīds (WF6) tiek uzklāts uz vafeles virsmas, izmantojot CVD procesu, aizpildot metāla savienojuma tranšejas un veidojot metāla savienojumu starp slāņiem.
Vispirms parunāsim par plazmu. Plazma ir matērijas forma, kas galvenokārt sastāv no brīvajiem elektroniem un lādētiem joniem. Tā plaši pastāv Visumā un bieži tiek uzskatīta par ceturto matērijas stāvokli. To sauc par plazmas stāvokli jeb "plazmu". Plazmai ir augsta elektrovadītspēja un spēcīga mijiedarbība ar elektromagnētisko lauku. Tā ir daļēji jonizēta gāze, kas sastāv no elektroniem, joniem, brīvajiem radikāļiem, neitrālām daļiņām un fotoniem. Pati plazma ir elektriski neitrāls maisījums, kas satur fiziski un ķīmiski aktīvas daļiņas.
Vienkāršs skaidrojums ir tāds, ka augstas enerģijas iedarbībā molekula pārvarēs van der Valsa spēku, ķīmiskās saites spēku un Kulona spēku, kopumā radot neitrālu elektrību. Tajā pašā laikā no ārpuses nākošā augstā enerģija pārvar iepriekš minētos trīs spēkus. Funkcijas dēļ elektroni un joni atrodas brīvā stāvoklī, ko var mākslīgi izmantot magnētiskā lauka modulācijas ietekmē, piemēram, pusvadītāju kodināšanas procesā, CVD procesā, PVD un IMP procesā.
Kas ir augsta enerģija? Teorētiski var izmantot gan augstas temperatūras, gan augstas frekvences radiofrekvenču (RF) diapazonu. Vispārīgi runājot, augstu temperatūru ir gandrīz neiespējami sasniegt. Šī temperatūras prasība ir pārāk augsta un var būt tuva Saules temperatūrai. To principā nav iespējams sasniegt šajā procesā. Tāpēc rūpniecībā parasti tiek izmantota augstas frekvences radiofrekvenču (RF) diapazona frekvence. Plazmas radiofrekvenču diapazons var sasniegt pat 13 MHz+.
Volframa heksafluorīds tiek plazmizēts elektriskā lauka iedarbībā un pēc tam magnētiskā lauka ietekmē iztvaiko. W atomi ir līdzīgi ziemas zosu spalvām un gravitācijas ietekmē nokrīt zemē. Lēnām W atomi tiek nogulsnēti caurumos un visbeidzot piepildās ar caurumiem, veidojot metāla savienojumus. Papildus W atomu nogulsnēšanai caurumos, vai tie nogulsnējas arī uz plāksnes virsmas? Jā, noteikti. Vispārīgi runājot, sniega noņemšanai var izmantot W-CMP procesu, ko mēs saucam par mehānisko slīpēšanas procesu. Tas ir līdzīgi kā grīdas slaucīšana ar slotu pēc biezas sniega kārtas. Sniegs uz zemes tiek aizslaucīts, bet sniegs bedrē uz zemes paliks. Aptuveni tas pats.
Publicēšanas laiks: 2021. gada 24. decembris
