Volframa heksafluorīda (WF6) izmantošana

Volframa heksafluorīds (WF6) tiek nogulsnēts uz vafeles virsmas, izmantojot CVD procesu, aizpildot metāla starpsavienojumu tranšejas un veidojot metāla starpsavienojumu starp slāņiem.

Vispirms parunāsim par plazmu. Plazma ir vielas forma, kas galvenokārt sastāv no brīviem elektroniem un lādētiem joniem. Tas plaši pastāv Visumā un bieži tiek uzskatīts par matērijas ceturto stāvokli. To sauc par plazmas stāvokli, ko sauc arī par "plazmu". Plazmai ir augsta elektrovadītspēja, un tai ir spēcīga savienojuma iedarbība ar elektromagnētisko lauku. Tā ir daļēji jonizēta gāze, kas sastāv no elektroniem, joniem, brīvajiem radikāļiem, neitrālām daļiņām un fotoniem. Pati plazma ir elektriski neitrāls maisījums, kas satur fizikāli un ķīmiski aktīvas daļiņas.

Vienkāršs izskaidrojums ir tāds, ka lielas enerģijas iedarbībā molekula pārvarēs van der Vālsa spēku, ķīmiskās saites spēku un Kulona spēku un kopumā veidos neitrālas elektrības formu. Tajā pašā laikā augstā enerģija, ko piešķir ārpuse, pārvar iepriekšminētos trīs spēkus. Funkcija, elektroni un joni ir brīvā stāvoklī, ko var mākslīgi izmantot magnētiskā lauka modulācijā, piemēram, pusvadītāju kodināšanas procesā, CVD procesā, PVD un IMP procesā.

Kas ir augsta enerģija? Teorētiski var izmantot gan augstas temperatūras, gan augstas frekvences RF. Vispārīgi runājot, augstu temperatūru ir gandrīz neiespējami sasniegt. Šī temperatūras prasība ir pārāk augsta un var būt tuvu saules temperatūrai. To procesā būtībā nav iespējams sasniegt. Tāpēc nozare parasti izmanto augstfrekvences RF, lai to panāktu. Plazmas RF var sasniegt pat 13MHz+.

Volframa heksafluorīds tiek plazmatizēts elektriskā lauka iedarbībā un pēc tam magnētiskajā laukā tiek nogulsnēts ar tvaiku. W atomi ir līdzīgi ziemas zosu spalvām un gravitācijas ietekmē nokrīt zemē. Lēnām W atomi tiek nogulsnēti caurumos un visbeidzot tiek pilnībā piepildīti caurumos, veidojot metāla savienojumus. Vai papildus W atomu nogulsnēšanai caurumos, tie tiks nogulsnēti arī uz vafeles virsmas? Jā, noteikti. Vispārīgi runājot, noņemšanai varat izmantot W-CMP procesu, ko mēs saucam par mehānisko slīpēšanas procesu. Tas ir līdzīgi kā izmantot slotu, lai slaucītu grīdu pēc stipra sniega. Sniegs uz zemes ir noslaucīts, bet sniegs bedrē uz zemes paliks. Uz leju, apmēram tas pats.