Elektronisksīpašas gāzesir svarīga īpašo gāzu nozare. Viņi iekļūst gandrīz katrā pusvadītāju ražošanas saiknē un ir neaizstājamas izejvielas elektronisko rūpniecības ražošanai, piemēram, īpaši lielā mēroga integrētām shēmām, plakanā paneļa displeja ierīcēm un saules baterijām.

Pusvadītāju tehnoloģijā plaši izmanto fluoru saturošas gāzes. Pašlaik globālajā elektronisko gāzes tirgū fluoru saturošās elektroniskās gāzes veido apmēram 30% no kopējās daļas. Fluoru saturošas elektroniskās gāzes ir svarīga īpašo elektronisko gāzu sastāvdaļa elektronisko informācijas materiālu jomā. Tos galvenokārt izmanto kā tīrīšanas līdzekļus un kodināšanas līdzekļus, un tos var izmantot arī kā palīgvielas, plēvju veidojošus materiālus utt. Šajā rakstā autors jūs izprot, lai saprastu parastās fluoru saturošās gāzes.

Tālāk tiek izmantotas fluoru saturošas gāzes

Slāpekļa trifluorīds (NF3): gāze, ko izmanto nogulšņu tīrīšanai un noņemšanai, ko parasti izmanto reakcijas kameru un aprīkojuma virsmu tīrīšanai.

Sēra heksafluorīds (SF6): Fluorinējošs līdzeklis, ko izmanto oksīda nogulsnēšanās procesos un kā izolējošu gāzi izolācijas barotnes aizpildīšanai.

Ūdeņraža fluorīds (HF): Izmanto, lai noņemtu oksīdus no silīcija virsmas, un kā kodinātājs kodināšanai silīcija un citu materiālu kodināšanai.

Slāpekļa fluorīds (NF): izmantots, lai kodinātu tādus materiālus kā silīcija nitrīds (grēks) un alumīnija nitrīds (ALN).

Trifluorometāns (chf3) untetrafluorometāns (CF4): Izmanto, lai kodinātu fluorīdu, piemēram, silīcija fluorīdu un alumīnija fluorīdu.

Tomēr fluoru saturošām gāzēm ir zināmas briesmas, ieskaitot toksicitāti, korozivitāti un uzliesmojamību.

Toksicitāte

Dažas fluoru saturošas gāzes ir toksiskas, piemēram, ūdeņraža fluorīds (HF), kuru tvaiki ir ļoti kairinoši ādai un elpceļiem un kaitīgi cilvēku veselībai.

Korozivitāte

Ūdeņraža fluorīds un daži fluorīdi ir ļoti kodīgi un var izraisīt nopietnu kaitējumu ādai, acīm un elpošanas ceļiem.

Uzliesmojamība

Daži fluorīdi ir viegli uzliesmojoši un reaģē ar skābekli vai ūdeni gaisā, lai atbrīvotu intensīvu karstumu un toksiskas gāzes, kas var izraisīt uguni vai eksploziju.

Augsta spiediena bīstamība

Dažas fluorētas gāzes ir sprādzienbīstamas zem spiediena, un, lietojot un uzglabājot, nepieciešama īpaša aprūpe.

Ietekme uz vidi

Fluoru saturošām gāzēm ir augstas atmosfēras dzīves ilgums un GWP vērtības, kurām ir iznīcinoša ietekme uz atmosfēras ozona slāni un var izraisīt globālu sasilšanu un vides piesārņojumu.

Gāzu pielietojums topošajās laukos, piemēram, elektronikā, turpina padziļināties, radot lielu daudzumu jaunu pieprasījumu pēc rūpnieciskām gāzēm. Balstoties uz lielo jaunu elektronisko komponentu ražošanas jaudu, piemēram, pusvadītāju un displeju paneļu kontinentālajā Ķīnā, nākamajos gados, kā arī spēcīgo pieprasījumu pēc elektronisko ķīmisko vielu importa aizstāšanas, vietējā elektroniskā gāzes rūpniecība ieviesīs augstu augšanas ātrumu.