Elektroniskāīpašas gāzesir svarīga īpašo gāzu nozare. Tie iekļūst gandrīz visos pusvadītāju ražošanas posmos un ir neaizstājami izejmateriāli elektroniskās rūpniecības, piemēram, īpaši liela mēroga integrālo shēmu, plakano displeju ierīču un saules bateriju ražošanā.

Pusvadītāju tehnoloģijā plaši izmanto fluoru saturošas gāzes. Šobrīd globālajā elektroniskās gāzes tirgū fluoru saturošas elektroniskās gāzes veido aptuveni 30% no kopējā apjoma. Fluoru saturošas elektroniskās gāzes ir svarīga speciālo elektronisko gāzu sastāvdaļa elektronisko informācijas materiālu jomā. Tos galvenokārt izmanto kā tīrīšanas un kodināšanas līdzekļus, kā arī var izmantot kā dopantus, plēvi veidojošus materiālus utt. Šajā rakstā autore palīdzēs izprast izplatītākās fluoru saturošās gāzes.

Parasti tiek izmantotas fluoru saturošas gāzes

Slāpekļa trifluorīds (NF3): gāze, ko izmanto nogulšņu tīrīšanai un noņemšanai, parasti izmanto reakcijas kameru un aprīkojuma virsmu tīrīšanai.

Sēra heksafluorīds (SF6): fluorēšanas līdzeklis, ko izmanto oksīdu nogulsnēšanas procesos un kā izolācijas gāzi izolācijas materiālu pildīšanai.

Ūdeņraža fluorīds (HF): izmanto oksīdu noņemšanai no silīcija virsmas un kā kodinātāju silīcija un citu materiālu kodināšanai.

Slāpekļa fluorīds (NF): izmanto tādu materiālu kā silīcija nitrīda (SiN) un alumīnija nitrīda (AlN) kodināšanai.

Trifluormetāns (CHF3) untetrafluormetāns (CF4): izmanto, lai kodinātu fluoru saturošus materiālus, piemēram, silīcija fluorīdu un alumīnija fluorīdu.

Tomēr fluoru saturošām gāzēm ir noteiktas briesmas, tostarp toksicitāte, kodīgums un uzliesmojamība.

Toksiskums

Dažas fluoru saturošas gāzes ir toksiskas, piemēram, ūdeņraža fluorīds (HF), kura tvaiki ļoti kairina ādu un elpceļus un ir kaitīgi cilvēku veselībai.

Kodīgums

Ūdeņraža fluorīds un daži fluorīdi ir ļoti kodīgi un var izraisīt nopietnus ādas, acu un elpošanas ceļu bojājumus.

Uzliesmojamība

Daži fluorīdi ir viegli uzliesmojoši un reaģē ar skābekli vai ūdeni gaisā, izdalot intensīvu karstumu un toksiskas gāzes, kas var izraisīt ugunsgrēku vai eksploziju.

Augsta spiediena apdraudējums

Dažas fluorētas gāzes ir sprādzienbīstamas zem augsta spiediena, un tām ir nepieciešama īpaša piesardzība, ja tās lieto un uzglabā.

Ietekme uz vidi

Fluoru saturošām gāzēm ir augsts kalpošanas laiks atmosfērā un GSP vērtības, kas destruktīvi ietekmē atmosfēras ozona slāni un var izraisīt globālo sasilšanu un vides piesārņojumu.

Gāzu izmantošana jaunās jomās, piemēram, elektronikā, turpina pieaugt, radot lielu pieprasījumu pēc rūpnieciskajām gāzēm. Pamatojoties uz lielo jauno galveno elektronisko komponentu, piemēram, pusvadītāju un displeju paneļu ražošanas jaudu apjomu kontinentālajā Ķīnā nākamajos gados, kā arī lielo pieprasījumu pēc elektronisko ķīmisko materiālu importa aizstāšanas, vietējā elektroniskās gāzes rūpniecība ieviesīs augsts izaugsmes temps.