Elektronisksīpašas gāzesir svarīga speciālo gāzu nozare. Tās iekļūst gandrīz katrā pusvadītāju ražošanas posmā un ir neaizstājamas izejvielas elektronikas rūpniecības, piemēram, īpaši liela mēroga integrālo shēmu, plakano displeju ierīču un saules bateriju, ražošanā.

Pusvadītāju tehnoloģijā fluoru saturošas gāzes tiek plaši izmantotas. Pašlaik globālajā elektronisko gāzu tirgū fluoru saturošas elektroniskās gāzes veido aptuveni 30% no kopējā apjoma. Fluoru saturošas elektroniskās gāzes ir svarīga speciālo elektronisko gāzu sastāvdaļa elektronisko informācijas materiālu jomā. Tās galvenokārt izmanto kā tīrīšanas līdzekļus un kodināšanas līdzekļus, un tās var izmantot arī kā piemaisījumus, plēvi veidojošus materiālus utt. Šajā rakstā autors palīdzēs jums izprast izplatītākās fluoru saturošās gāzes.

Šādas ir parasti izmantotas fluoru saturošas gāzes

Slāpekļa trifluorīds (NF3): gāze, ko izmanto tīrīšanai un nogulšņu noņemšanai, parasti lieto reakcijas kameru un iekārtu virsmu tīrīšanai.

Sēra heksafluorīds (SF6)Fluorējoša viela, ko izmanto oksīdu nogulsnēšanas procesos un kā izolācijas gāzi izolācijas materiālu pildīšanai.

Ūdeņraža fluorīds (HF): izmanto oksīdu noņemšanai no silīcija virsmas un kā kodinātāju silīcija un citu materiālu kodināšanai.

Slāpekļa fluorīds (NF): Izmanto tādu materiālu kā silīcija nitrīda (SiN) un alumīnija nitrīda (AlN) kodināšanai.

Trifluormetāns (CHF3) untetrafluormetāns (CF4)Izmanto fluorīda materiālu, piemēram, silīcija fluorīda un alumīnija fluorīda, kodināšanai.

Tomēr fluoru saturošām gāzēm ir zināmas briesmas, tostarp toksicitāte, kodīgums un uzliesmojamība.

Toksicitāte

Dažas fluoru saturošas gāzes ir toksiskas, piemēram, ūdeņraža fluorīds (HF), kura tvaiki ļoti kairina ādu un elpceļus un ir kaitīgi cilvēku veselībai.

Kodīgums

Ūdeņraža fluorīds un daži fluorīdi ir ļoti kodīgi un var izraisīt nopietnus ādas, acu un elpošanas ceļu bojājumus.

Uzliesmojamība

Daži fluorīdi ir viegli uzliesmojoši un reaģē ar skābekli vai ūdeni gaisā, izdalot intensīvu karstumu un toksiskas gāzes, kas var izraisīt ugunsgrēku vai sprādzienu.

Augsta spiediena bīstamība

Dažas fluorētas gāzes ir sprādzienbīstamas augsta spiediena ietekmē, un to lietošanas un uzglabāšanas laikā ir jāievēro īpaša piesardzība.

Ietekme uz vidi

Fluoru saturošām gāzēm ir augsts atmosfēras dzīves ilgums un globālās sasilšanas potenciāla (GWP) vērtības, kas destruktīvi ietekmē atmosfēras ozona slāni un var izraisīt globālo sasilšanu un vides piesārņojumu.

Gāzu izmantošana jaunās jomās, piemēram, elektronikā, turpina padziļināties, radot lielu jaunu pieprasījumu pēc rūpnieciskajām gāzēm. Pamatojoties uz lielo jauno elektronisko komponentu, piemēram, pusvadītāju un displeju paneļu, ražošanas jaudu kontinentālajā Ķīnā nākamajos gados, kā arī lielo pieprasījumu pēc elektronisko ķīmisko materiālu importa aizstāšanas, vietējā elektroniskās gāzes nozare sagaidīs augstu izaugsmes tempu.