Sausās kodināšanas tehnoloģija ir viens no galvenajiem procesiem. Sausās kodināšanas gāze ir galvenais materiāls pusvadītāju ražošanā un svarīgs gāzes avots plazmas kodināšanai. Tās veiktspēja tieši ietekmē gatavā produkta kvalitāti un veiktspēju. Šajā rakstā galvenokārt ir aprakstītas visbiežāk izmantotās kodināšanas gāzes sausās kodināšanas procesā.
Fluora bāzes gāzes: piemēram,oglekļa tetrafluorīds (CF4), heksafluoretāns (C2F6), trifluormetāns (CHF3) un perfluorpropāns (C3F8). Šīs gāzes, kodinot silīciju un silīcija savienojumus, var efektīvi radīt gaistošus fluorīdus, tādējādi panākot materiāla noņemšanu.
Hlora bāzes gāzes: piemēram, hlors (Cl2),bora trihlorīds (BCl3)un silīcija tetrahlorīds (SiCl4). Uz hlora bāzes veidotas gāzes kodināšanas procesā var nodrošināt hlorīda jonus, kas palīdz uzlabot kodināšanas ātrumu un selektivitāti.
Broma bāzes gāzes: piemēram, broms (Br2) un broma jodīds (IBr). Broma bāzes gāzes var nodrošināt labāku kodināšanas veiktspēju noteiktos kodināšanas procesos, īpaši kodinot cietus materiālus, piemēram, silīcija karbīdu.
Uz slāpekļa un skābekļa bāzes veidotas gāzes: piemēram, slāpekļa trifluorīds (NF3) un skābeklis (O2). Šīs gāzes parasti izmanto, lai pielāgotu reakcijas apstākļus kodināšanas procesā, lai uzlabotu kodināšanas selektivitāti un virzību.
Šīs gāzes nodrošina precīzu materiāla virsmas kodināšanu, apvienojot fizikālu izsmidzināšanu un ķīmiskas reakcijas plazmas kodināšanas laikā. Kodināšanas gāzes izvēle ir atkarīga no kodināmā materiāla veida, kodināšanas selektivitātes prasībām un vēlamā kodināšanas ātruma.
Publicēšanas laiks: 2025. gada 8. februāris
