Sausas kodināšanas tehnoloģija ir viens no galvenajiem procesiem. Sausa kodināšanas gāze ir galvenais materiāls pusvadītāju ražošanā un svarīgs gāzes avots plazmas kodināšanai. Tās veiktspēja tieši ietekmē galaprodukta kvalitāti un veiktspēju. Šajā rakstā galvenokārt ir kopīgi, kādi ir parasti izmantotās kodināšanas gāzes sausā kodināšanas procesā.
Gāzes, kas balstītas uz fluoru: piemēram,oglekļa tetrafluorīds (CF4), heksafluoretāns (C2F6), trifluorometāns (CHF3) un perfluoropropāns (C3F8). Šīs gāzes var efektīvi radīt gaistošus fluorīdus, kodinot silīcija un silīcija savienojumus, tādējādi sasniedzot materiāla noņemšanu.
Hlora bāzes gāzes: piemēram, hlors (CL2),Bora trihlorīds (BCL3)un silīcija tetrahlorīds (SICL4). Hlora bāzes gāzes var nodrošināt hlorīda jonus kodināšanas procesā, kas palīdz uzlabot kodināšanas ātrumu un selektivitāti.
Bromu balstītas gāzes: piemēram, broms (BR2) un broma jodīds (IBR). Gāzes, kas balstītas uz bromiem, var nodrošināt labāku kodināšanas veiktspēju noteiktos kodināšanas procesos, it īpaši, ja kodina cietos materiālus, piemēram, silīcija karbīdu.
Uz slāpekļa un skābekļa balstītas gāzes: piemēram, slāpekļa trifluorīds (NF3) un skābeklis (O2). Šīs gāzes parasti izmanto, lai pielāgotu reakcijas apstākļus kodināšanas procesā, lai uzlabotu kodināšanas selektivitāti un virzienu.
Šīs gāzes sasniedz precīzu materiāla virsmas kodināšanu, kombinējot fizisko sprādzienu un ķīmiskās reakcijas plazmas kodināšanas laikā. Kodināšanas gāzes izvēle ir atkarīga no kodināmā materiāla veida, kodināšanas selektivitātes prasībām un vēlamā kodināšanas ātruma.
Pasta laiks: 2008.-2025. Februāris
