Kas ir oglekļa tetrafluorīds? Kāda ir izmantošana?

Kas iroglekļa tetrafluorīds? Kāda ir izmantošana?

Oglekļa tetrafluorīds, kas pazīstams arī kā tetrafluormetāns, tiek uzskatīts par neorganisku savienojumu. To izmanto dažādu integrēto shēmu plazmas kodināšanas procesā, kā arī izmanto kā lāzergāzi un aukstumaģentu. Tas ir relatīvi stabils normālā temperatūrā un spiedienā, taču ir jāizvairās no saskares ar spēcīgiem oksidētājiem, uzliesmojošiem vai degošiem materiāliem. Oglekļa tetrafluorīds ir nedegoša gāze. Ja tas saskaras ar lielu karstumu, tas izraisīs tvertnes iekšējā spiediena palielināšanos, kā arī pastāv plaisāšanas un eksplozijas risks. Parasti tas var mijiedarboties tikai ar šķidru amonjaka-nātrija metāla reaģentu istabas temperatūrā.

Oglekļa tetrafluorīdsšobrīd ir lielākā plazmas kodināšanas gāze, ko izmanto mikroelektronikas nozarē. To var plaši izmantot silīcija, silīcija dioksīda, fosfsilikāta stikla un citu plānu plēvju materiālu kodināšanai, elektronisko ierīču virsmu tīrīšanai, saules bateriju ražošanai, lāzertehnoloģijām, gāzes fāzes izolācijai, zemas temperatūras dzesēšanai, noplūdes noteikšanas līdzekļiem, un mazgāšanas līdzekļiem iespiedshēmu ražošanā ir daudz pielietojumu.