Silāns (SiH4)

Tehniskie parametri

Silāns ir silīcija un ūdeņraža savienojums. Tas ir vispārīgs termins virknei savienojumu, ieskaitot monosilānu (SiH4), disilānu (Si2H6) un dažus augstāka līmeņa silīcija-ūdeņraža savienojumus. Starp tiem visizplatītākais ir monosilāns, ko dažkārt saīsinājumā dēvē par silānu. Silāns ir bezkrāsaina gāze ar pretīgu ķiploku smaku. Šķīst ūdenī, gandrīz nešķīst etanolā, ēterī, benzolā, hloroformā, silīcija hloroformā un silīcija tetrahlorīdā. Silānu ķīmiskās īpašības ir daudz aktīvākas nekā alkāniem un viegli oksidējas. Saskaroties ar gaisu, var rasties spontāna aizdegšanās. Tas nereaģē ar slāpekli, ja temperatūra ir zemāka par 25°C, un istabas temperatūrā nereaģē ar ogļūdeņražu savienojumiem. Silāna aizdegšanās un eksplozija ir reakcijas ar skābekli rezultāts. Silāns ir ārkārtīgi jutīgs pret skābekli un gaisu. Silāns ar noteiktu koncentrāciju arī sprādzienbīstami reaģēs ar skābekli -180°C temperatūrā. Silāns ir kļuvis par nozīmīgāko speciālo gāzi, ko izmanto pusvadītāju mikroelektronikas procesos, un to izmanto dažādu mikroelektronisko plēvju, tostarp monokristālu plēvju, mikrokristālisko, polikristālisko, silīcija oksīdu, silīcija nitrīdu un metālu silicīdu ražošanā. Silāna mikroelektroniskie pielietojumi joprojām attīstās dziļi: zemas temperatūras epitaksija, selektīvā epitaksija un heteroepitaksiskā epitaksija. Ne tikai silīcija ierīcēm un silīcija integrālajām shēmām, bet arī saliktām pusvadītāju ierīcēm (gallija arsenīds, silīcija karbīds utt.). Tam ir arī pielietojums superrežģa kvantu aku materiālu sagatavošanā. Var teikt, ka mūsdienās silāns tiek izmantots gandrīz visās progresīvās integrālo shēmu ražošanas līnijās. Silāna kā silīciju saturošas plēves un pārklājuma pielietojums ir paplašinājies no tradicionālās mikroelektronikas nozares uz dažādām jomām, piemēram, tēraudu, iekārtām, ķimikālijām un optiku. Vēl viens potenciāls silāna pielietojums ir augstas veiktspējas keramisko dzinēju detaļu ražošana, jo īpaši silāna izmantošana silicīda (Si3N4, SiC u.c.) mikropulveru tehnoloģijai ir piesaistījusi arvien lielāku uzmanību.

Pielietojums:

①Elektroniski:

Silānu uzklāj uz polikristāliskā silīcija slāņiem uz silīcija plāksnēm, ražojot pusvadītājus un hermētiķus.

②Saule:

Silānu izmanto saules fotoelektrisko moduļu ražošanā.

③ Rūpnieciskais:

To izmanto enerģijas taupīšanas zaļajā stiklā un izmanto tvaiku pārklāšanas plānās kārtiņas procesā.

Parastā pakete:

Priekšrocība:

① Vairāk nekā desmit gadus tirgū;

②ISO sertifikāta ražotājs;

③ Ātra piegāde;

④ Stabils izejvielu avots;

⑤On-line analīzes sistēma kvalitātes kontrolei katrā solī;

⑥ Augstas prasības un rūpīgs process, lai apstrādātu cilindru pirms iepildīšanas;

⑦ Tīrība: augstas tīrības pakāpes elektroniskā klase;

⑧Lietošana: saules bateriju materiāli; augstas tīrības pakāpes polisilīcija, silīcija oksīda un optiskās šķiedras izgatavošana; krāsainā stikla ražošana.