Silāns (SiH4)

Tehniskie parametri

Silāns ir silīcija un ūdeņraža savienojums. Tas ir vispārīgs termins virknei savienojumu, tostarp monosilānam (SiH4), disilānam (Si2H6) un dažiem augstākas pakāpes silīcija-ūdeņraža savienojumiem. Starp tiem visizplatītākais ir monosilāns, ko dažreiz saīsināti dēvē par silānu. Silāns ir bezkrāsaina gāze ar pretīgu ķiploku smaržu. Šķīst ūdenī, gandrīz nešķīst etanolā, ēterī, benzolā, hloroformā, silīcija hloroformā un silīcija tetrahlorīdā. Silānu ķīmiskās īpašības ir daudz aktīvākas nekā alkāniem, un tie viegli oksidējas. Saskaroties ar gaisu, var notikt spontāna aizdegšanās. Tas nereaģē ar slāpekli zem 25°C un nereaģē ar ogļūdeņražu savienojumiem istabas temperatūrā. Silāna aizdegšanās un sprādziens rodas reakcijas ar skābekli rezultātā. Silāns ir ārkārtīgi jutīgs pret skābekli un gaisu. Silāns ar noteiktu koncentrāciju sprāgstoši reaģēs arī ar skābekli -180°C temperatūrā. Silāns ir kļuvis par vissvarīgāko speciālo gāzi, ko izmanto pusvadītāju mikroelektronikas procesos, un to izmanto dažādu mikroelektronisko plēvju, tostarp monokristālu plēvju, mikrokristālisko, polikristālisko, silīcija oksīda, silīcija nitrīda un metālu silicīdu, ražošanā. Silāna mikroelektronikas pielietojumi joprojām padziļināti attīstās: zemas temperatūras epitaksija, selektīvā epitaksija un heteroepitaksija. Ne tikai silīcija ierīcēm un silīcija integrālajām shēmām, bet arī saliktām pusvadītāju ierīcēm (gallija arsenīds, silīcija karbīds utt.). Tam ir arī pielietojums superrežģa kvantu aku materiālu ražošanā. Var teikt, ka mūsdienās silānu izmanto gandrīz visās modernajās integrālo shēmu ražošanas līnijās. Silāna pielietojums kā silīciju saturoša plēve un pārklājums ir paplašinājies no tradicionālās mikroelektronikas nozares uz dažādām jomām, piemēram, tērauda, ​​mašīnbūves, ķīmijas un optikas rūpniecību. Vēl viens potenciāls silāna pielietojums ir augstas veiktspējas keramikas dzinēju detaļu ražošana, īpaši silāna izmantošana silicīdu (Si3N4, SiC utt.) mikropulveru ražošanā ir piesaistījusi arvien lielāku uzmanību.

Pielietojums:

①Elektroniskā:

Silānu uzklāj uz polikristāliska silīcija slāņiem uz silīcija plāksnēm, ražojot pusvadītājus un hermētiķus.

②Saules enerģija:

Silānu izmanto saules fotoelektrisko moduļu ražošanā.

③Rūpnieciskais:

To izmanto enerģiju taupošā zaļajā stiklā un pielieto tvaika nogulsnēšanas plānslāņa procesā.

Parastā pakete:

Priekšrocība:

①Vairāk nekā desmit gadi tirgū;

②ISO sertifikāta ražotājs;

③Ātra piegāde;

4. Stabils izejvielu avots;

⑤Tiešsaistes analīzes sistēma kvalitātes kontrolei katrā solī;

6. Augstas prasības un rūpīgs process cilindra apstrādei pirms uzpildīšanas;

⑦Tīrība: augstas tīrības pakāpes elektroniskās ierīces;

6. Pielietojums: saules bateriju materiāli; augstas tīrības pakāpes polisilīcija, silīcija oksīda un optiskās šķiedras ražošana; krāsainā stikla ražošana.