Sēra heksafluorīda loma silīcija nitrīda kodināšanā

Sēra heksafluorīds ir gāze ar izcilām izolācijas īpašībām, un to bieži izmanto augstsprieguma loka dzēšanas un transformatoros, augstsprieguma pārraides līnijās, transformatoros utt. Tomēr papildus šīm funkcijām sēra heksafluorīdu var izmantot arī kā elektronisko kodolu. Elektroniskās pakāpes augstas tīrības pakāpes sēra heksafluorīds ir ideāls elektronisks atskanējs, ko plaši izmanto mikroelektronikas tehnoloģijas jomā. Šodien Niu Ruide īpašā gāzes redaktors Yueyue ieviesīs sēra heksafluorīda pielietojumu silīcija nitrīda kodināšanā un dažādu parametru ietekmei.

Mēs apspriežam SF6 plazmas kodināšanas SINX procesu, ieskaitot plazmas jaudas maiņu, SF6/HE gāzes attiecību un pievienojam katjonu gāzi O2, apspriežot tā ietekmi uz sinx elementu aizsardzības slāņa kodēšanas ātrumu TFT, un SF6/He, SF6/He/O2 plasma koncentrācijas izmaiņas un SF6/HE, SF6/HE/O2 plaSma koncentrācijas izmaiņas. pēta saistību starp sinx kodināšanas ātruma izmaiņām un plazmas sugu koncentrāciju.

Pētījumos atklāts, ka, palielinoties plazmas jaudai, kodināšanas ātrums palielinās; Ja palielinās SF6 plūsmas ātrums plazmā, F atoma koncentrācija palielinās un ir pozitīvi korelēta ar kodināšanas ātrumu. Turklāt pēc katjonu gāzes O2 pievienošanas saskaņā ar fiksēto kopējo plūsmas ātrumu tā ietekmēs kodināšanas ātrumu, bet dažādās O2/SF6 plūsmas attiecībās būs dažādi reakcijas mehānismi, kurus var iedalīt trīs daļās: (1) O2/SF6 plūsmas attiecība ir ļoti maza, O2 var palīdzēt, ja tas ir lielāks, ja tas ir O2. (2) Ja O2/SF6 plūsmas attiecība ir lielāka par 0,2 līdz intervālam, kas tuvojas 1, šajā laikā, pateicoties lielajam SF6 disociācijas apjomam, veidojot F atomus, kodināšanas ātrums ir visaugstākais; Bet tajā pašā laikā palielinās arī O atomi plazmā, un ir viegli veidot Siox vai Sinxo (YX) ar sinx plēves virsmu, un jo vairāk O atomu palielinās, jo grūtāk F atomi būs kodināšanas reakcijai. Tāpēc kodināšanas ātrums sāk palēnināties, kad O2/SF6 attiecība ir tuvu 1. (3), kad O2/SF6 attiecība ir lielāka par 1, kodināšanas ātrums samazinās. Sakarā ar lielo O2 pieaugumu, disociētie F atomi saduras ar O2 un formu, kas samazina F atomu koncentrāciju, kā rezultātā samazinās kodināšanas ātrums. No tā var redzēt, ka, pievienojot O2, O2/SF6 plūsmas attiecība ir no 0,2 līdz 0,8, un var iegūt labāko kodināšanas ātrumu.