Sēra heksafluorīda loma silīcija nitrīda kodināšanā

Sēra heksafluorīds ir gāze ar lieliskām izolācijas īpašībām, un to bieži izmanto augstsprieguma loka dzēšanas iekārtās un transformatoros, augstsprieguma elektropārvades līnijās, transformatoros utt. Tomēr papildus šīm funkcijām sēra heksafluorīdu var izmantot arī kā elektronisko kodinātāju. Elektroniskās kvalitātes augstas tīrības pakāpes sēra heksafluorīds ir ideāls elektronisko kodinātājs, ko plaši izmanto mikroelektronikas tehnoloģiju jomā. Šodien Niu Ruide speciālās gāzes redaktors Yueyue iepazīstinās ar sēra heksafluorīda pielietojumu silīcija nitrīda kodināšanā un dažādu parametru ietekmi.

Mēs apspriežam SF6 plazmas SiNx kodināšanas procesu, tostarp plazmas jaudas, SF6/He gāzes attiecības maiņu un katjoniskās gāzes O2 pievienošanu, apspriežam tā ietekmi uz TFT SiNx elementa aizsargslāņa kodināšanas ātrumu un plazmas starojuma izmantošanu. Spektrometrs analizē katras sugas koncentrācijas izmaiņas SF6/He, SF6/He/O2 plazmā un SF6 disociācijas ātrumu, kā arī pētām saistību starp SiNx kodināšanas ātruma izmaiņām un plazmas sugas koncentrāciju.

Pētījumos ir atklāts, ka, palielinot plazmas jaudu, palielinās kodināšanas ātrums; ja SF6 plūsmas ātrums plazmā tiek palielināts, palielinās F atomu koncentrācija un pozitīvi korelē ar kodināšanas ātrumu. Turklāt pēc katjoniskās gāzes O2 pievienošanas ar fiksētu kopējo plūsmas ātrumu tas palielinās kodināšanas ātrumu, bet pie dažādām O2/SF6 plūsmas attiecībām būs atšķirīgi reakcijas mehānismi, kurus var iedalīt trīs daļās: (1) O2/SF6 plūsmas attiecība ir ļoti maza, O2 var veicināt SF6 disociāciju, un kodināšanas ātrums šajā laikā ir lielāks nekā tad, ja O2 netiek pievienots. (2) Kad O2/SF6 plūsmas attiecība ir lielāka par 0,2 ar intervālu, kas tuvojas 1, šajā laikā, pateicoties lielajam SF6 disociācijas apjomam, veidojot F atomus, kodināšanas ātrums ir visaugstākais; Taču vienlaikus palielinās arī O atomu skaits plazmā, un ar SiNx plēves virsmu ir viegli veidot SiOx vai SiNxO(yx), un, jo vairāk O atomu palielinās, jo grūtāk kodināšanas reakcijai būs F atomiem. Tāpēc kodināšanas ātrums sāk palēnināties, kad O2/SF6 attiecība ir tuvu 1. (3) Kad O2/SF6 attiecība ir lielāka par 1, kodināšanas ātrums samazinās. Lielā O2 pieauguma dēļ disociētie F atomi saduras ar O2 un veido OF, kas samazina F atomu koncentrāciju, kā rezultātā samazinās kodināšanas ātrums. No tā var redzēt, ka, pievienojot O2, O2/SF6 plūsmas attiecība ir no 0,2 līdz 0,8, un var iegūt labāko kodināšanas ātrumu.