Sēra heksafluorīds ir gāze ar lieliskām izolācijas īpašībām, un to bieži izmanto augstsprieguma loka dzēšanas iekārtās un transformatoros, augstsprieguma pārvades līnijās, transformatoros utt. Tomēr papildus šīm funkcijām sēra heksafluorīdu var izmantot arī kā elektronisko kodinātāju. .Elektroniskās kvalitātes augstas tīrības pakāpes sēra heksafluorīds ir ideāls elektronisks kodinātājs, ko plaši izmanto mikroelektronikas tehnoloģiju jomā.Šodien Niu Ruide īpašais gāzes redaktors Yueyue iepazīstinās ar sēra heksafluorīda pielietojumu silīcija nitrīda kodināšanā un dažādu parametru ietekmi.
Mēs apspriežam SF6 plazmas kodināšanas SiNx procesu, tostarp plazmas jaudas mainīšanu, SF6/He gāzes attiecību un katjonu gāzes O2 pievienošanu, apspriežam tā ietekmi uz TFT SiNx elementa aizsargslāņa kodināšanas ātrumu un plazmas starojuma izmantošanu. spektrometrs analizē katras sugas koncentrācijas izmaiņas SF6/He, SF6/He/O2 plazmā un SF6 disociācijas ātrumu, kā arī pēta saistību starp SiNx kodināšanas ātruma izmaiņām un sugas koncentrāciju plazmā.
Pētījumos atklāts, ka, palielinot plazmas jaudu, kodināšanas ātrums palielinās;ja SF6 plūsmas ātrums plazmā tiek palielināts, F atoma koncentrācija palielinās un pozitīvi korelē ar kodināšanas ātrumu.Turklāt pēc katjonu gāzes O2 pievienošanas zem fiksētā kopējā plūsmas ātruma tas palielinās kodināšanas ātrumu, bet pie dažādām O2/SF6 plūsmas attiecībām būs dažādi reakcijas mehānismi, kurus var iedalīt trīs daļās. : (1 ) O2/SF6 plūsmas attiecība ir ļoti maza, O2 var palīdzēt SF6 disociācijā, un kodināšanas ātrums šajā laikā ir lielāks nekā tad, ja O2 nav pievienots.(2) Ja O2/SF6 plūsmas attiecība ir lielāka par 0,2 līdz intervālam, kas tuvojas 1, šajā laikā SF6 lielās disociācijas dēļ, veidojot F atomus, kodināšanas ātrums ir visaugstākais;bet tajā pašā laikā palielinās arī O atomu skaits plazmā, un ar SiNx plēves virsmu ir viegli izveidot SiOx vai SiNxO(yx), un jo vairāk palielinās O atomu skaits, jo grūtāk būs F atomi. kodināšanas reakcija.Tāpēc kodināšanas ātrums sāk palēnināties, kad O2/SF6 attiecība ir tuvu 1. (3) Ja O2/SF6 attiecība ir lielāka par 1, kodināšanas ātrums samazinās.Sakarā ar lielo O2 pieaugumu, disociētie F atomi saduras ar O2 un veidojas OF, kas samazina F atomu koncentrāciju, kā rezultātā samazinās kodināšanas ātrums.No tā var redzēt, ka, pievienojot O2, O2/SF6 plūsmas attiecība ir no 0,2 līdz 0,8, un var iegūt vislabāko kodināšanas ātrumu.
Izlikšanas laiks: Dec-06-2021
